物理清洗
物理清洗有三种方法。①刷洗或擦洗:可除去颗粒污染和大多数粘在片子上的薄膜。②高压清洗:是用液体喷射片子表面,喷嘴的压力高达几百个大气压。高压清洗靠喷射作用,硅片清洗剂主营,片子不易产生划痕和损伤。但高压喷射会产生静电作用,靠调节喷嘴到片子的距离、角度或加入防静电剂加以避免。③超声波清洗:超声波声能传入溶液,宜春硅片清洗剂,靠气蚀作用洗掉片子上的污染。但是,从有图形的片子上除去小于 1微米颗粒则比较困难。将频率提高到**高频频段,清洗效果更好。
溶液浸泡法就是通过将要清除的硅片放入溶液中浸泡来达到清除表面污染目的的一种方法,它是湿法化学清洗中较简单也是较常用的一种方法。它主要是通过溶液与硅片表面的污染杂质在浸泡过程中发生化学反应及溶解作用来达到清除硅片表面污染杂质的目的。
放射示踪原子分析和质谱分析表明,采用体系清洗硅片效果较好,同时所用的全部化学试剂 H2O2、NH4OH、HCl能够*挥发掉。用H2SO4和H2O2清洗硅片时,硅片清洗剂供应,在硅片表面会留下约2×1010原子每平方厘米的原子,用后一种酸性清洗液时可以*被清除。用H2O2体系清洗硅片无残留物,硅片清洗剂批发,有害性小,也有利于工人健康和环境保护。硅片清洗中用各步清洗液处理后,都要用**纯水**冲洗。